표 1. | Table 1. 교정 기준물의 사용 가능한 최대 주파수 | Maximum usable frequency of calibration reference.
ISS 138-357
Probe pitch
100 μm
125 μm
150 μm
CPW total width
230 μm
280 μm
330 μm
f
max
625 GHz
513 GHz
435 GHz